FAB TRAINING · INTERACTIVE SIMULATION

TEL炉管模拟

面向新人培训的流程演示：常压 / 低压两种模式、作业阶段、设备状态与压力/温度趋势示意。可逐步操作、运行、暂停并查看每阶段说明。
仅培训模拟 · 不连接真实设备
Wafer 传输路径（按剖面图）： FOUP── FIMS── BOAT── TUBE

设备流程模拟区

TEL INDY A · 概念示意 排气 Vent 主阀 Gas intake port 信号灯 T/C Shutter BOAT Boat Elevator N2 L/L FIMS 晶片传送机械手 FOUP传送机械手 FOUP存放区(18) FOUP搬入口 Load Port 真空泵 Vacuum Pump 工艺气体 Process Gas N2 DCS NH3 Drain 排气 石英管Quartz Tube 加热器 Heater
模式 常压 AP
腔体压力 常压 ATM
流程进度 0 / 8
搬送系统 待机

准备开始

选择常压或低压模式，然后点击“自动演示”或“下一步”。低压模式先升舟进炉、关炉口后再抽真空，降舟前先回大气；常压模式无需抽真空。

安全边界：页面中的状态、动作、曲线和数值均为教学占位内容，不是 INDY A 真实设备配方、报警码、信号或联锁逻辑。实际操作必须以现场批准 SOP、设备手册及机台界面为准。