FAB TRAINING · INTERACTIVE SIMULATION

TEL炉管模拟

面向新人培训的流程演示：常压 / 低压两种模式、作业阶段、设备状态与压力/温度趋势示意。可逐步操作、运行、暂停并查看每阶段说明。
仅培训模拟 · 不连接真实设备
Wafer 传输路径（按剖面图）： FOUP── FIMS── BOAT── TUBE

设备流程模拟区

TEL INDY A · 概念示意 排气 Vent 主阀 H2·O2 Torch 信号灯 T/C BOAT 晶舟升降机Boat Elevator N2 L/L FIMS 晶片传送机械手 FOUP传送机械手 FOUP存放区(18) FOUP搬入口 Load Port 真空泵 Vacuum Pump 工艺气体 Process Gas N2 DCS NH3 Drain 排气 石英管Quartz Tube 加热器 Heater 炉口阀门 Shutter
模式 常压 AP
腔体压力 常压 ATM
流程进度 0 / 8
搬送系统 待机

准备开始

选择常压或低压模式，然后点击“自动演示”或“下一步”。低压模式先升舟进炉、关炉口后再抽真空，降舟前先回大气；常压模式无需抽真空。

安全边界：页面中的状态、动作、曲线和数值均为教学占位内容，不是 INDY A 真实设备配方、报警码、信号或联锁逻辑。实际操作必须以现场批准 SOP、设备手册及机台界面为准。